エッチングパーツの結果 ~ Imagejoshhve

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エッチング lsiの製造工程において、薄膜や半導体の一部または全部を必要に応じて除去する方法。マスク上のicのパターンを半導体上に転写するのに重要な工程。溶液中に半導体基板を浸して除去するウエット・エッチングと、反応性イオンガスやプラズマガス中に半導体基板をさらして除去カラー...